產(chǎn)品列表 / products
本真空計(jì)屬皮拉尼真空計(jì)，可測量的壓力范圍從大氣壓至5×10-2Pa。本真空計(jì)從控制面板上去除了操作及顯示部分，只保留了必要的功能，從而降低了價格，使外形更小巧，而且已通過CE認(rèn)證。
用途
可用于半導(dǎo)體、電子原件為首的各種制造裝置的低真空領(lǐng)域的過程管理；
可用于真空爐為首的各種產(chǎn)業(yè)機(jī)器的低真空領(lǐng)域的過程管理；
可用于連續(xù)性、多樣性工作室的各種制造設(shè)備的低真空領(lǐng)域的過程管理。
特長
可測量范圍廣：從大氣壓至5×10-2Pa
傳感器與控制部一體化：節(jié)省空間、降低能耗
名稱 | 皮拉尼真空計(jì) | |||
機(jī)型名稱 | 標(biāo)準(zhǔn)型 | 串行通信型 | ||
Model名 | SW1-N1 | SW1-N2 | ||
可連接規(guī)管 | 1個 | |||
適用規(guī)管 | SWP-16-N | |||
可測量壓力范圍 | 5.0×10-2～1.0×10+5Pa | |||
測量精度※1（N2） | 1×10-1Pa～1×10+4Pa | : ±10% | ||
| 1×10+4Pa～1×10+5Pa、5×10-2Pa～1×10-1Pa | : ±20% | ||
反復(fù)性 | 1×10-1Pa～1×10+4Pa | : ± 2% | ||
采樣時間 | 50ms 5次的移動平均處理 | |||
測量值的輸出 | 輸出電壓 DC 0～10V 壓力顯示 1.7V～8.0V LOG輸出 1V/位 | |||
| 更新時間 | 50ms | ||
分辨率 | 4mV | |||
輸出電阻 | 10Ω | |||
輸出電阻 | 10Ω |
| ||
串行通信 |
| RS-485/RS-232C | ||
| 通信速度 | 9600/19200/38400bps | ||
記憶功能 | 通過EEPROM備份 | |||
LED顯示 | POWER／ERROR： 電源、出錯LED | |||
| SET-1： 設(shè)定點(diǎn)1 LED |
| ||
| SET-2： 設(shè)定點(diǎn)?2 LED | |||
IP保護(hù)等級 | IP30 | |||
主體重量 | 控制器：約 105g 規(guī)管(SWP-16)：約 45g | |||
外形尺寸 | 70×46×28 （控制器） | |||
