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日本ULVAC 羅茨泵技術(shù)資料

更新時間:2015-12-28 點擊量:956

羅茨泵與油旋片真空泵、水環(huán)泵組合用,可在壓力1.3×103~1.3×10-1Pa范圍內(nèi)提高抽氣速率。NB系列羅茨泵是專為潔凈度要求較高的場合而設(shè)計的。 

特長 
結(jié)凈的真空 
腔體內(nèi)沒有潤滑油,對水蒸氣、溶劑等氣體也有穩(wěn)定的排氣性能。 
能在高吸入壓強下運轉(zhuǎn) 
選用比標(biāo)準(zhǔn)電機容量大一級的電機,即可實現(xiàn)在高吸入壓強下的運轉(zhuǎn)。 

用途 
照明、電子、光學(xué)、半導(dǎo)體鍍膜、濺射、離子鍍、液晶注入真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣真空熱處理爐、燒結(jié)爐、釬焊爐分析儀器、檢漏設(shè)備,CO2激光設(shè)備

 

        機 型

NB100A

NB300A

NB600A

NB1200A

項 目

抽氣速率*3

   m3/h(L/min)

50Hz

95(1580)

280(4670)

500(8330)

1000(16667)

60Hz

115(1920)

330(5500)

600(10000)

1200(20000)

zui大吸入壓力      Pa

(連續(xù)運轉(zhuǎn)時)      

50Hz

1.3×103

1.2×103

1.3×103

60Hz

1.3×103

9.3×102

1.1×103

zui大允許壓力差    Pa

(排出壓力-吸入壓力)   

50Hz

8.0×103

4.0×103

7.3×103

60Hz

6.7×103

3.3×103

6.0×103

極限壓力          Pa*1

4.0×10‐1

6.7×10‐1

標(biāo)準(zhǔn)粗抽泵

GLD-N280

VDN301

VDN401

VSN1501

VSN2401

VSN1501

VSN2401

電    機          kW (極) *2 *4

0.4(2)

0.75(2)

2.2(2)

3.7(2)

V-Hz

380/400/415V-50Hz、380/400/440V-60Hz

使 用 油

ULVOIL® R-4

所需油量          L

0.35

0.70

1.50

1.90

冷卻水量          L/min*6

空 冷

2 *5

2

3

進水壓力          MPa

 

0.3

 

進出水壓差        MPa

0.05

0.1

重    量          kg

24

49

77.5

110

吸氣口徑 (JIS B 2290)

相當(dāng) VG50

相當(dāng) VG80

相當(dāng)VG80

相當(dāng)VG100

排氣口徑 (JIS B 2290)

相當(dāng)VF50

相當(dāng)VF80

相當(dāng)VF80

相當(dāng)VF80

       

 

*1  用皮拉尼真空計測量的值,如用麥?zhǔn)险婵沼嫓y量,則為4.0×10-2Pa(3.0×10-4Torr),而NB1200A則為6.7×10-2Pa(5.0×10-4Torr)。

*2  電源為AC380V、50Hz、三相。

*3  隨粗抽泵的性能而變化,表中為標(biāo)準(zhǔn)泵的組合的數(shù)據(jù)。

*4  NB300A、NB600A、NB1200A可分別選購1.5kW、3.7kW、5.5kW的大容量電機。

*5  對于530Pa(4Torr)以下可用空冷,但530Pa(4Torr)以上進行連續(xù)運轉(zhuǎn)必須用水冷。

*6  冷卻水溫為5~30℃。

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