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產(chǎn)品列表 / products

日本ULVAC CFB-600復(fù)合分子泵技術(shù)資料

更新時(shí)間:2016-01-04 點(diǎn)擊量:895

日本ULVAC CFB-600復(fù)合分子泵 一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介

        復(fù)合分子泵是靠高速轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)子攜帶氣體分子獲得超高真空的一種機(jī)械真空泵,是由渦輪分子泵和盤(pán)式牽引泵組合而成,它同時(shí)具有渦輪分子泵分子流時(shí)抽速大、壓縮比高,牽引泵高壓強(qiáng)時(shí)抽速大、壓縮比高的特點(diǎn),擴(kuò)展了分子泵的應(yīng)用范圍,廣泛應(yīng)用于光伏、照明、航天航空、半導(dǎo)體、能源、軍工、激光、家電、材料、汽車(chē)、科研等真空技術(shù)的各個(gè)領(lǐng)域。

 

日本ULVAC CFB-600復(fù)合分子泵 二、產(chǎn)品特點(diǎn)

        復(fù)合分子泵對(duì)被抽氣體無(wú)選擇性、無(wú)記憶效應(yīng);由于對(duì)分子量大的氣體有很高的壓縮比,因此該泵不需要冷阱和捕油擋板即可獲得清潔的高真空和超高真空。

 

日本ULVAC CFB-600復(fù)合分子泵 三、主要性能指標(biāo)

 

型號(hào)

CFB-600

訂貨號(hào)

3151

3152

進(jìn)氣口法蘭

LF160

CF150

排氣口法蘭

KF40

抽氣速率

L/s

600

壓縮比N2/H2

1×109/8×103

極限壓強(qiáng)

Pa

5×10-7

8×10-8   

電機(jī)轉(zhuǎn)速

rpm

24000

啟動(dòng)時(shí)間

min

<4.5

振動(dòng)值

μm

≤0.1

前極泵

L/s

4-8

冷卻水溫度

≤20

泵體烘烤溫度

<120

冷卻水流量

L/min

1

加熱器功率

W

<550

加熱器輸入電壓

V

AC220

安裝方向

垂直±5°

重量

kg

~29

 

四、特性曲線及安裝尺寸

 

 

CFB系列復(fù)合分子泵安裝尺寸表

型號(hào)規(guī)格

CFB-600

進(jìn)氣口法蘭

LF160

CF150

D1

Ф180

Ф202

D2

Ф236

Ф236

D3

□45.7

□145.7

L1

128

128

L2

137

137

H1

395.5

395.5

H2

108

108

H3

135.5

135.5

H4

104

104

泵腿螺釘孔

4-M8

4-M8

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